（来源：上观新闻）
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在晶圆制造阶段🇧🇳，等离子刻蚀😩、化学气相沉积🇹🇬等工艺均需用到🎵🇲🇼氦气；同时🇻🇨🇧🇹，氦气还🇸🇬可用于🦐热量传导🕸◼与晶圆背🇷🇴♈面冷却🆙🍲，确保光刻等高🕒😛精度制程的🧻⛩温度全🍚程均匀可控⏹。
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