（来源：上观新闻）
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在晶圆制造👩🦲阶段，等离子👨🎤刻蚀、化学气🥺相沉积等工艺均需🥓📙用到氦气👩🚒🐐；同时，氦👨👧👦气还可用🐣🗻于热量传导🇮🇨🇲🇿与晶圆🌶🇻🇺背面冷却，👩👩👦👦确保光🥤👁刻等高🧗♀️中国家庭2精度制程的温度全💖程均匀🤪🎱可控📟。
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