（来源：上观新闻）
超大规模千👪卡/万卡级超👩👩👧👦节点，🥑🌇是支撑万亿🖱🌖参数大模型🇸🇱🐰训练等🎿👯♂️尖端场景的核心🛴🇹🇰力量；而A🌅🍆I商业化👒要实现规模化落🍽🔡地，更离不开适🔊配中小企🇸🇱🧽业实际需求👨👧👧的普惠化🦸♀️👀算力——二🎞🕛者互为补🥺充、缺一不可🖲。
而这方面，一个更🥡🐲具代表👩🎨性的载体，是中😇关村科学城国🇨🇼际创新服务集🍓🥺聚区1️⃣🎎。在晶圆制造阶🍑段，等离🐳子刻蚀、化学气相💼沉积等🦉工艺均需用🇱🇹到氦气；同时，氦🇸🇰气还可用于热量传🈶✊导与晶圆背🌗🔛面冷却，确保🚥光刻等高精度制程🥒🔙的温度全🗞程均匀可控🎑🚴。
